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旁路 CMOS 传感器

可直接在旁路通道中测量测量值。

在主通道中的层流元件会产生压差,该压差可通过旁路通道推动总流量的一小部分。位于该处的传感器将直接以温差形式测量质量流量。此处会在特殊形状的流动通 道中实现测量,通道内壁的一处含有带耐腐蚀薄膜的硅芯片。在该薄膜上使用了 CMOSens® 技术,并安装有加热电阻及两个温度传感器,两个传感器分别位于顺流和逆流的对称位置。当向加热电阻供应恒定电压时,温度传感器的电压差是在流动通道中通过 芯片的气体的质量流量的计量单位。

使用 CMOS-Sens 技术的旁路传感器工作原理图(旁路通道的部分)