CVD镀膜设备冷却系统方案可节省空间免维护
CVD 镀膜设备的开发和生产很复杂,需要专业的技术。其冷却控制亦是如此。传感器和执行机构的相互作用对于冷却温度控制至关重要。基于我们多种控制元件的选择和多年的经验,Bürkert 可根据您的要求为您提供量身定制的冷却解决方案。从设计到调试、维护,我们作为一个专业的流体控制合作伙伴会一直陪在您左右。
CVD 镀膜设备有限的内部空间,使机器维护变得困难
CVD 镀膜设备需要达到最高性能以获得最佳经济效益。有效的冷却在其中起着决定性的作用。这是因为 CVD 镀层应该只沉积在基材上,而不应沉积在反应器中。
总的来说,镀膜设备应尽可能的紧凑。因此,在传统的解决方案中,由于空间狭小,很难更换部件。通常情况下,为了接触到真正损坏的部件,必须费力地拆除整个子系统。此外,采购要更换的部件也需要很长的时间。

单晶硅生产
单晶硅
切割晶圆
冷却液
反应器
传统解决方案
反应器
热交换器
多功能、低维护的冷却系统解决方案
Bürkert通过其流体技术经验,为您的气体分离系统提供优化的定制冷却解决方案。焊接或机加工的流道集成块解决方案与高质量的不锈钢连接件相结合,组成紧凑的流体解决方案,准确满足您的定制要求。早被市场证明的成熟可靠的Bürkert流体控制技术的特点之一就是使用寿命非常长。这提高了工艺过程的可靠性,几乎无需维护。
节省空间的焊接或机加工集成阀块解决方案
Bürkert 系统解决方案的优势:

个性化的流体阀块可最大限度地减少停机时间
Bürkert 的解决方案可以根据您的要求,在一个中央流体阀块或几个分钟流体阀块中集成各种组件。我们可以根据您的空间要求、所需的功能、您的维护理念和给定的数字通信基础设施,调整我们的系统解决方案。
我们使 Bürkert 的系统解决方案 100% 符合您的要求
传统的管道解决方案与 Bürkert 系统解决方案在安装时间上的比较
在这个计算示例中,我们展示了您的部件供应商使用 Bürkert 的解决方案可以节省多少装配时间。根据“时间就是金钱”的座右铭,缩短装配时间意味着您可以节省大量成本。
传统解决方案与Bürkert 解决方案

用以下管件装配单个部件,即安装: 4 个 T 形件, 2 个弯管, 12 个双螺纹接头, 3 个套筒阀, 8 个螺钉,还要对齐部件
48 分钟用于密封液体的锥形螺纹, 每个螺纹连接需要 2 分钟,共有 24 个螺纹, 8 分钟用于安装支架的 4 个螺钉
一个阀块的装配时间,即安装: 3 个阀壳, 8 不锈钢螺钉, 2 个封闭插塞
6 分钟用于 3 个阀壳, 8 分钟用于 8 个不锈钢螺钉, 4 分钟用于安装 2 个封闭插塞
这节省了三分之二的装配时间。
传统的 3 重阀块解决方案与 Bürkert 解决方案的比较:每个装置的装配时间减少了约 38 分钟。这节省了三分之二的装配时间。