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办事处 /10
    • 办事处
      宝帝流体控制系统(上海)有限公司
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      宝帝流体控制系统(上海)有限公司
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直接在分支电流上进行测量

使用 CMOS-Sens 技术的旁路传感器工作原理图(旁路通道的部分)

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可直接在旁路通道中测量测量值。在主通道中的层流元件会产生压差,该压差可通过旁路通道推动总流量的一小部分。位于该处的传感器将直接以温差形式测量质量流量。此处会在特殊形状的流动通道中实现测量,通道内壁的一处含有带耐腐蚀薄膜的硅芯片。在该薄膜上使用了 CMOSens® 技术,并安装有加热电阻及两个温度传感器,两个传感器分别位于顺流和逆流的对称位置。当向加热电阻供应恒定电压时,温度传感器的电压差是在流动通道中通过芯片的气体的质量流量的计量单位。

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