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类型 8713 - 气体质量流量控制器 (MFC)

类型描述
8713 型质量流量控制器 (MFC) 适合在大流量范围内对气体进行质量流量控制。直接位于气流中的热 MEMS 传感器可以实现极高速度的响应。一个直动式 Bürkert 比例阀作为执行元件,确保了良好的响应灵敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具备卓越的控制特性。8713 型设备可以针对两种不同的气体进行校准,用户可以在两者之间进行切换。与上级设备的通信完全采用数字形式,这样一来,就可以省去额外的数模转换。8713 型质量流量控制器适合多样化应用,例如燃烧器控制、热处理、材料涂层、生物反应堆、燃料电池技术或者试验台。
- 标称流量范围:0.010 lN/min 至 80 lN/min
- 测量精度和重复性高
- 调控速度特别快
- 通过 RS485 进行数字通信
- 紧凑型版本
要挑选正确的产品,请根据数据表,参考技术数据、图像和注释,以正确使用。
应用 & 工具
下载
数据表
描述 |
文件大小 |
语言 / 国家 |
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Type 8713 data sheet | mass flow controller for gases | 931.3 kB | EN / EU |
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Typ 8713 Datenblatt | Massendurchflussregler für Gase | 943.4 kB | DE / DE |
用户手册
软件
描述 |
文件大小 |
语言 / 国家 |
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USB-Driver Win 7 - Win 11 A.06 | 4.2 MB | ML |
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MFC_Driver_DLL (A.16) A.16 | 6.1 MB | ML |
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MassFlowCommunicator A.32 | 27 MB | ML |