类型 8713 - 气体质量流量控制器 (MFC)

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类型描述

8713 型质量流量控制器 (MFC) 适合在大流量范围内对气体进行质量流量控制。直接位于气流中的热 MEMS 传感器可以实现极高速度的响应。一个直动式 Bürkert 比例阀作为执行元件，确保了良好的响应灵敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具备卓越的控制特性。8713 型设备可以针对两种不同的气体进行校准，用户可以在两者之间进行切换。与上级设备的通信完全采用数字形式，这样一来，就可以省去额外的数模转换。8713 型质量流量控制器适合多样化应用，例如燃烧器控制、热处理、材料涂层、生物反应堆、燃料电池技术或者试验台。

标称流量范围：0.010 lN/min 至 80 lN/min
测量精度和重复性高
调控速度特别快
通过 RS485 进行数字通信
紧凑型版本

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可与以下产品配套

类型 6013

直动式两位两通柱塞电磁阀

类型 0330

直动式两位两通或两位三通转动衔铁电磁阀

类型 6027

直动式两位两通柱塞电磁阀

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数据表

	产品描述	文件大小	语言 / 国家
	Type 8713 data sheet \| mass flow controller for gases	1.8 MB	EN / EU
	Typ 8713 Datenblatt \| Massendurchflussregler für Gase	1.8 MB	DE / DE

用户手册

产品描述	文件大小	语言 / 国家
Additional manual Type XXXX \| MFC Family - Digital Communication (RS 232 / RS 485)	1.5 MB	EN / EU
Operating Instructions Type 8700 8701 8703 8705 8710 8711 8713 8715 \| MFM / MFC	1.6 MB	EN / EU
Bedienungsanleitung Typ 8700 8701 8703 8705 8710 8711 8713 8715 \| MFM / MFC	1.6 MB	DE / EU
Manuel d'utilisation Type 8700 8701 8703 8705 8710 8711 8713 8715 \| MFM / MFC	1.7 MB	FR / EU
Manuel supplémentaire Type XXXX \| MFC Family - Communication numérique (RS 232 / RS 485)	1.9 MB	FR / FR
Zusatzanleitung MFC Typ XXXX \| MFC Family - Digital Communication (RS 232 / RS 485)	1.9 MB	DE / DE

软件

产品描述	文件大小	语言 / 国家
MFC_Driver_DLL (A.16) A.16	6.4 MB	ML
MassFlowCommunicator A.30	28.5 MB	ML
USB-Driver WIN 7, XP (32, x64) A.05	2.6 MB	ML

互动动画

	产品描述	文件大小	语言 / 国家
	3D-Animation - 8713	1.7 MB	DE
	3D-Animation - 8713	1.7 MB	EN

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