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类型 8713 - 气体质量流量控制器 (MFC)

类型描述

8713 型质量流量控制器 (MFC) 适合在大流量范围内对气体进行质量流量控制。直接位于气流中的热 MEMS 传感器可以实现极高速度的响应。一个直动式 Bürkert 比例阀作为执行元件，确保了良好的响应灵敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具备卓越的控制特性。8713 型设备可以针对两种不同的气体进行校准，用户可以在两者之间进行切换。与上级设备的通信完全采用数字形式，这样一来，就可以省去额外的数模转换。8713 型质量流量控制器适合多样化应用，例如燃烧器控制、热处理、材料涂层、生物反应堆、燃料电池技术或者试验台。

标称流量范围：0.010 lN/min 至 80 lN/min
测量精度和重复性高
调控速度特别快
通过 RS485 进行数字通信
紧凑型版本

要挑选正确的产品，请根据数据表，参考技术数据、图像和注释，以正确使用。

可与以下产品配套

类型 6013

直动式两位两通柱塞电磁阀

类型 0330

直动式二位二通或二位三通枢轴电枢阀

类型 6027

直动式两位两通柱塞电磁阀

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应用 & 工具

下载

数据表

	描述	文件大小	语言 / 国家
	Type 8713 data sheet \| mass flow controller for gases	931.3 kB	EN / EU
	Typ 8713 Datenblatt \| Massendurchflussregler für Gase	943.4 kB	DE / DE

用户手册

描述	文件大小	语言 / 国家
Additional manual MFC \| Digital communication (RS 232 / RS 485)	1.9 MB	EN / EU
Replacement Instructions \| Types 8701, 8711, 8703, 8713	514.1 kB	EN / EU
Operating Instructions Type 8700 8701 8703 8705 8710 8711 8713 8715 \| MFM / MFC	2.3 MB	EN / EU
Austauschanleitung \| Typen 8701, 8711, 8703, 8713	515.5 kB	DE / DE
Instructions de remplacement \| Types 8701, 8711, 8703, 8713	516.2 kB	FR / FR
Manuel supplémentaire MFC \| Communication numérique (RS 232/ RS 485)	1.9 MB	FR / FR
Zusatzanleitung MFC \| Digitale Kommunikation (RS 232 / RS 485)	1.8 MB	DE / DE
Bedienungsanleitung Typ 8700 8701 8703 8705 8710 8711 8713 8715 \| MFM / MFC	2.4 MB	DE / EU
Manuel d'utilisation Type 8700 8701 8703 8705 8710 8711 8713 8715 \| MFM / MFC	2.4 MB	FR / EU

软件

描述	文件大小	语言 / 国家
USB-Driver Win 7 - Win 11 A.06	4.2 MB	ML
MFC_Driver_DLL (A.16) A.16	6.1 MB	ML
MassFlowCommunicator A.32	27 MB	ML

符合性声明

描述	文件大小	语言 / 国家
EU-DoC\|EU Declaration	28.9 kB	EN,FR,DE
MDec\|Food\|Hygenic 8741-8742 & 870x & 871x decl.	159.1 kB	EN,DE
MDec\|Oxygen 8006-8626-8701-8711-8703-8713	112 kB	EN,DE
EU-DoC\|EU Material Compliance	40.2 kB	EN
EU-DoC\|EU Material Compliance	41.7 kB	FR
EU-DoC\|EU Material Compliance	40.9 kB	DE

类型描述

可与以下产品配套

应用 & 工具

下载

数据表

用户手册

软件

符合性声明

8713型气体质量流量控制器*0.2nl/min,O₂,铝基座,G1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*0.2nl/min,Ar,铝基座,G1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*10SLPM,H2,铝基座,G1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*1SLPM,N₂,铝基座,NPT1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*40nl/h,空气,铝基座,G1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*50nl/min,N₂,铝基座,G1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*30SLPM,空气,铝基座,G1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*20nl/min,N₂,铝基座,G1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*0.05nl/min,Ar,铝基座,G1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*5nl/min,O2/N2/Air,铝基座,G1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*10nl/min,O2/N2/Air,铝基座,G1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*5nl/min,CO₂,铝基座,G1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*3nl/min,O2/N2/Air,铝基座,G1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*1nl/min,O2/N2/Air,铝基座,G1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*500SCCM,N₂,铝基座,NPT1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*100SCCM,N₂,铝基座,G1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*300ncm3/min,N₂,铝基座,G1/4寸,RS485

8713型气体质量流量控制器*100Sml/min,N₂,铝基座,底板连接,RS485

8713型气体质量流量控制器*200SCCM,N₂,铝基座,G1/4寸,RS485